真空泵是一種用于制造、研究和分析高真空環境的設備，它起到將氣體從一個封閉空間中抽出的作用。真空泵的主要原理是通過使泵室內的氣體分子在泵殼壁上碰撞、吸附和擴散的作用下，逐漸降低泵室內的氣體壓力，達到一定的真空度。一般情況下，真空泵采用機械泵、分子泵、擴散泵等多種方式進行真空抽取。

　　隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

　　常見的真空泵故障有以下幾種：

　　1.泵體溫度升高，散熱不良。潤滑油不足或混水。

　　解決方法：檢查或更換潤滑油，將散熱器清洗干凈，減少摩擦造成的熱量。

　　2.泵室漏氣現象。泵室密封圈損壞或泵室內部零件松脫。

　　解決方法：更換泵室密封圈或緊固松動的零件，加強檢查，確保泵室內部密封良好。

　　3.真空度下降。進氣口卡垢或泵室密封圈老化開裂。

　　解決方法：清洗進氣口或者更換密封圈，加強防塵措施。

　　4.泵機異響或運行不平穩。機械部件磨損或輸出軸不平衡。

　　解決方法：更換磨損的機械元件或輸出軸，精調輸出軸的平衡狀態。